一种半导体激光器叠阵封装质量的检测装置

一种半导体激光器叠阵封装质量的检测装置，包括光源模块、电脑控制模块、成像及检测模块，通过电脑控制模块，使光源模块发出激光，激光以一定角度入射到放置在被测器件工装上的被测器件芯片表面，被测器件芯片表面对测试激光光束进行反射，反射光通过成像及检测模块接收图像，并由电脑控制模块进行采集和存储。本发明适用于传导冷却半导体激光器线阵或叠阵、微通道半导体激光器垂直线阵或叠阵等的封装质量检测，具有结构简单，操作方便，对被测器件不产生损伤等优点。