一种基于环带重构微分的多阶衍射透镜制造误差分析方法

本发明属于多阶衍射透镜加工领域，具体涉及一种基于环带重构微分的多阶衍射透镜制造误差分析方法。方法包括：首先针对MDL存在加工导致的形貌误差类型，构建误差函数ε；之后基于所构建的误差函数ε，得到MDL误差高度分布矩阵hij；然后计算MDL在焦平面位置的衍射光场；最后计算MDL在误差影响下的光学性能指标，包含相对焦点位置偏移及相对聚焦效率损失。本发明能够有效针对MDL制造过程中形成的复杂形貌误差进行光学性能相关的分析；能够通过理论计算与仿真模拟的方式对MDL在制造误差影响下光学性能损失的变化趋势及区间进行准确分析；对MDL在任意误差形貌下的光学性能分析工作具有高适用性及准确性；本发明便于改进工艺，实用性强。