一种半片硅片镀膜变节距旋转装置

本发明公开了一种半片硅片镀膜变节距旋转装置，属于硅片运输设备技术领域；其中，该设备包括用于同时收/发2张半片硅片的两个缓存机构和基底座；缓存机构上设置有具有开口结构的固定架，所述固定架设有两个缓存通道；基底座上设有与两个缓存机构对应的两个升降电机，每个升降电机的动力输出端与对应的丝杆连接，每个丝杆与对应的背板滑动连接，每个背板与对应的缓存机构滑动连接，基底座的底部设有旋转电机，每个升降电机带动对应的丝杆在Y轴方向升降运动，带动丝杆对应的缓存机构在Y轴方向升降运动。本发明提供的半片硅片镀膜变节距旋转装置，能够同时收/发2张半片硅片，通过单个机器人配置两组上下料的变节距旋转装置，实现了一备一用的切换机制，保证了机器人不停运，从而提高了产能。