一种单侧双回路的低温高压旋转接头模块

本申请涉及半导体制造和检测的技术领域，尤其是涉及一种单侧双回路的低温高压旋转接头模块，其包括旋转接头、旋转驱动部和测试模组；所述测试模组用于盛放待测芯片，所述测试模组具有用于接收冷媒的冷媒进口管和用于排出冷媒的冷媒出口管；所述旋转驱动部用于驱动所述测试模组转动特定角度；所述旋转接头用于与所述冷媒进口管和所述冷媒出口管构成完整的冷媒回路。本申请具有简化结构，避免了传统圆盘收放管因长期收放拉扯而引起的管路破损泄漏，延长系统的使用寿命的效果。