一种触觉力传感器的加工方法及机械臂

本发明涉及机械臂技术领域，公开一种触觉力传感器的加工方法及机械臂。其中触觉力传感器的加工方法，包括：将MEMS压力芯片固定在底座上；在底座上固定金属线圈；在底座上放置腔气前驱固体；将可变形的柔性罩固定在底座上，底座与柔性罩形成带密封腔室的柔性壳，腔气前驱固体、金属线圈以及MEMS压力芯片均位于密封腔室内；金属线圈加热腔气前驱固体使其气化为填充气体，柔性罩、底座及填充气体组成微型气囊，微型气囊、MEMS压力芯片以及金属线圈组成触觉力传感器。本发明公开的触觉力传感器的加工方法加工而成的触觉力传感器在常温和低温下均具有较高的灵敏度和精确度。