一种MEMS光谱芯片的干涉环圆度检测方法、装置及电子设备

本发明涉及工业视觉技术领域，公开了一种MEMS光谱芯片的干涉环圆度检测方法、装置及电子设备，旨在解决现有方法存在效率低和准确性差的问题，方案主要包括：利用芯片圆形刻线检测模型检测待检测光谱芯片的圆形刻线坐标，并计算圆心坐标；将待检测光谱芯片的干涉环图像转换至极坐标下，对获得的极坐标图像进行灰度化处理；对获得的极坐标图像进行预处理；对预处理后的极坐标图像进行滑窗自动阈值分割，对获得的二值图像取反；将获得的干涉环二值图像与极坐标灰度图像进行融合，获得干涉环灰度图像；根据干涉环灰度图像拟合干涉环极值曲线，根据干涉环极值曲线计算干涉环圆度。本发明提高了检测效率和准确性，适用于MEMS光谱芯片的质量检测。