衬底预加热模块、具有其的器件处理组件及方法

提出了一种衬底预加热模块。根据本公开的实施例，该模块包括：室，其配置成从设备前端模块(EFEM)接收一个以上衬底；第一开口，其设置在邻近EFEM的室的壁上；气体入口，其配置为将第一气体从外气体源输送到室中；第一阀，其设置在气体入口处，并配置为控制第一气体进入室的输入；排气口，其配置为从室中泵出第一气体；第二阀，其设置在排气口处，并配置为控制第一气体从室的排出；以及加热器，其配置为加热室中的第一气体。该模块还可以包括控制器以控制阀和加热器。