摘要
本发明提供了一种光学镜片面形误差公差的确定方法、装置及对应光学系统的制造方法,方法包括:利用试验经验确定光学镜片的初步PV公差和RMS公差范围;生成对应范围内的表面误差点云数据;利用泽尼克多项式对表面误差点云数据进行拟合,将表面误差分解为不同阶次的泽尼克项;根据不同阶次的泽尼克项分配不同权重系数;通过仿真确定光学系统的关键节点位置;对关键节点位置处的成像质量进行评价;基于泽尼克项的权重系数和关键节点的成像质量评价结果确定光学镜片的PV公差范围和RMS公差范围。本发明能够通过对不同阶次的泽尼克系数赋予权重,并结合关键节点像差的评价,优化PV和RMS公差范围,提高光学系统的整体成像质量。
技术关键词
光学镜片
表面误差
面形误差
公差
光学系统
成像
点云
节点
矩阵向量乘法
调制传递函数
观察系统
多项式
误差模型
数据
仿真软件
分配单元
处理器
可读存储介质
存储器
因子