摘要
本发明涉及集成电路封装技术领域,公开了一种键合丝的表面绝缘涂覆方法,包括:第一步、在陶瓷外壳装片区形成一层金镀层;第二步,在集成电路裸芯片键合面形成一层Al镀层,并晶圆划片成独立的芯片;第三步,在陶瓷封装外壳粘片区域点涂环氧树脂,将芯片贴放在粘接位置,然后进行高温固化;第四步,采用键合丝,将裸芯片PAD与封装外壳键合指连接起来;第五步,采用小分子涂覆材料对器件内部所有键合丝进行整体绝缘涂覆;第六步,密封前的高温烘烤处理;第七步,在平行缝焊设备进行封盖,完成集成电路器件的封装。本发明的键合丝绝缘涂覆方法,在键合工序完成后,对键合丝进行整体或局部的涂覆处理,即形成均匀、致密的防护涂层。
技术关键词
涂覆方法
集成电路裸芯片
键合丝
陶瓷封装外壳
绝缘
集成电路器件
涂覆材料
缝焊设备
环氧树脂
集成电路封装技术
陶瓷外壳
镀层
自动贴片机
涂覆层
防护涂层
封盖
层厚度