一种电压电流快速控制电路

本发明公开了一种电压电流快速控制电路，应用于直流磁控溅射电源中，包括电流采样电路、电流信号放大电路、第一比较电路、电压差分采样电路、控制开关电路及第二比较电路，所述电流采样电路的输入端与所述直流磁控溅射电源的输出电流连接，所述电压差分采样电路的输入端与所述直流磁控溅射电源的输出电压连接。本发明可以实现对直流磁控溅射电源的输出电流峰值和输出电压的快速比较，用于快速控制主功率驱动开通与关断。