基板处理系统

本发明提供一种基板处理系统，其控制升降机将变换成铅垂姿势的多张基板一并浸渍于批量处理槽而进行第一次批量处理，控制升降机将变换成上述铅垂姿势的多张基板一并浸渍于上述批量处理槽而进行第二次批量处理，具备使基板绕基板的法线旋转的旋转机构，且在上述第一次批量处理之后且上述第二次批量处理之前，控制上述旋转机构，使上述第二次批量处理以相对于上述第一次批量处理中的基板的姿势将上下反转的姿势进行。