一种高电学性能体声波谐振器、制备方法和体声波滤波器

本申请涉及体声波谐振器技术领域，具体提供了一种高电学性能体声波谐振器、制备方法和体声波滤波器，该方法包括步骤：在第一衬底上依次形成缓冲层、压电层和图形化顶电极；在图形化顶电极外形成盲孔；在图形化顶电极顶面形成第一互连线和通过填充盲孔在压电层顶面形成第二互连线；在第一互连线和第二互连线上键合第二衬底；将刻蚀组合体倒置，然后对第一衬底进行刻蚀；在凹槽内形成图形化底电极，然后在第一衬底上贴装覆膜层；去除第二衬底，然后通过第一互连线和第二互连线将体声波谐振器固定在封装基板上；该方法能够有效地解决体声波谐振器的薄膜在释放牺牲层的过程中发生鼓膜或开裂以及体声波谐振器的部分能量泄漏的问题。