一种双模态压电电子学晶体管及其制备方法

本发明公开了一种双模态压电电子学晶体管及其制备方法，属于柔性电子器件技术领域。本发明提供的双模态压电电子学晶体管以柔性基底材料为底电极，底电极上附着有钇掺杂氧化锌的功能层，功能层上制备有PMMA阻挡层，PMMA阻挡层上制备有表面双电极，底电极、功能层、阻挡层和表面双电极外部设置有封装外层。本发明结合特殊的平面电极结构和稀土离子掺杂策略，通过表征Y‑DPT的半导体特性和压电性，实现了其独特的静态力‑动态力双模态信号响应能力，为多模态检测提供了一种新思路，在柔性人工智能产品中具有广阔的应用前景。