半导体器件及其制备方法、芯片、电子设备

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半导体器件及其制备方法、芯片、电子设备
申请号:CN202411731114
申请日期:2024-11-28
公开号:CN119545846B
公开日期:2025-10-14
类型:发明专利
摘要
本公开提供了一种半导体器件及其制备方法、芯片、电子设备,涉及半导体技术领域,旨在解决因体电子陷阱或界面态陷阱,导致的反偏问题和/或动态电阻问题。半导体器件包括衬底、外延层、势垒层、栅极、帽层、源极、漏极和功能层。外延层和势垒层层叠设置于所述衬底之上,所述势垒层相比所述外延层远离所述衬底。栅极位于所述势垒层远离所述衬底的一侧。帽层位于所述势垒层和所述栅极之间。源极和漏极位于所述势垒层远离所述衬底的一侧,且分别位于所述栅极的相对两侧。功能层位于所述势垒层远离所述衬底的一侧。所述功能层和所述漏极位于所述栅极的同一侧,且所述功能层和所述漏极连接。所述功能层的厚度小于所述帽层的厚度。
技术关键词
半导体器件 势垒层 衬底 栅极 掩膜 接触区 层暴露 外延 封装基板 P型氮化镓 导电 纳米 电子设备 芯片 陷阱 电路板 氮化钛 星形 三角形 层叠
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