一种具有散斑抑制功能的激光反射镜及激光投射芯片

一种具有散斑抑制功能的激光反射镜及激光投射芯片，激光投射芯片包括反射镜，在反射镜的镜体上设置多层功能结构，从下向上，分别为高反复合膜、下电极层、调相层、上电极层和保护层；上电极层和下电极层之间能够施加不同强度的电压，使得调相层上下表面范围内的空间形成受控的电场；将这个所施加的电压设定为随机信号，则调相层的折射率随机变化，导致反射光的相位产生随机变化，反射光的时间相干性被破坏，因此激光投射目标面上的散斑被抑制；本发明无需额外的散斑抑制器件，通过在镜体表面设置相应的功能层，实现了单芯片激光投射与散斑抑制的双重功能，结构非常紧凑，体积小，在微型化的三维成像设备中易于应用。