一种长筒式折反变焦系统装调方法与系统

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一种长筒式折反变焦系统装调方法与系统
申请号:CN202411736266
申请日期:2024-11-29
公开号:CN119472067B
公开日期:2025-09-05
类型:发明专利
摘要
本发明属于光学装调相关技术领域,并公开了一种长筒式折反变焦系统装调方法与系统。该方法包括下列步骤:调整自准直仪光轴与平面干涉仪光轴平行;通过自准直仪测量平凹透镜光轴误差,调整主镜组件及平凹透镜组件光轴与自准直仪光轴平行;构建主镜、次镜及平凹透镜组成的系统的干涉仿真模型,利用系统波前像差Zernike展开系数计算失调量,以此调整次镜组件及平凹透镜组件的光轴与主镜组件的光轴同轴,且主镜组件与次镜组件、次镜组件与平凹透镜组件的间隔满足预设要求,由此使得系统波前像差满足预设阈值要求;将平凹透镜组件拆卸并替换为校正镜组件,以此完成所述长筒式折反变焦系统的装调。通过本发明,实现长筒式折反变焦系统的高效高精度装调。
技术关键词
折反变焦系统 次镜组件 平凹透镜 主镜组件 装调方法 自准直仪 干涉仪 镜筒 校正 仿真模型 光学系统 干涉条纹 曲率半径误差 高效高精度 厚度误差 理论 凹面 顶点
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