摘要
本发明属于光学装调相关技术领域,并公开了一种长筒式折反变焦系统装调方法与系统。该方法包括下列步骤:调整自准直仪光轴与平面干涉仪光轴平行;通过自准直仪测量平凹透镜光轴误差,调整主镜组件及平凹透镜组件光轴与自准直仪光轴平行;构建主镜、次镜及平凹透镜组成的系统的干涉仿真模型,利用系统波前像差Zernike展开系数计算失调量,以此调整次镜组件及平凹透镜组件的光轴与主镜组件的光轴同轴,且主镜组件与次镜组件、次镜组件与平凹透镜组件的间隔满足预设要求,由此使得系统波前像差满足预设阈值要求;将平凹透镜组件拆卸并替换为校正镜组件,以此完成所述长筒式折反变焦系统的装调。通过本发明,实现长筒式折反变焦系统的高效高精度装调。
技术关键词
折反变焦系统
次镜组件
平凹透镜
主镜组件
装调方法
自准直仪
干涉仪
镜筒
校正
仿真模型
光学系统
干涉条纹
曲率半径误差
高效高精度
厚度误差
理论
凹面
顶点