一种石英MEMS角速度传感器芯片及其传感器装置

本发明属于传感器领域，涉及一种石英MEMS角速度传感器芯片及其传感器装置，包括基片和电极，所述基片包括：驱动轴和检测轴，驱动轴包括第一驱动轴和第二驱动轴，所述检测轴位于第一驱动轴和第二驱动轴中间；所述电极设置在基片表面，用于激励第一驱动轴和第二驱动轴同时产生振动；本发明利用两对驱动轴，提高了石英MEMS角速度传感器的灵敏度，同时又不会增加太多的工艺复杂度；本发明的传感器芯片通过锚点结构与支撑结构固定连接，使得驱动振动和检测振动不易受外界影响；本发明在传感器芯片结构上设计了隔离结构，可以使冲击或振动的影响不易波及驱动轴和检测轴，进一步减少了外界干扰对传感器芯片振动的影响。