一种半导体芯片缺陷检测方法、系统和介质

本发明公开了一种半导体芯片缺陷检测方法、系统和可存储介质，方法包括获取待测图像，将待测图像输入训练和测试完成的检测模型中进行检测，并得到检测结果。其中检测模型由基于U‑Net模型的语义分割模型训练形成，语义分割模型包括编码器和解码器，编码器重复使用坐标注意力的部分卷积残差模块和最大池化的下采样提取图像特征，解码器重复使用双线性插值法的上采样和坐标注意力的部分卷积残差模块还原图像特征，编码器和解码器的跳跃连接处设置有多尺度深度卷积模块。检测模型为轻量化的改进版U‑Net模型，能够兼顾不同产品，快速准确的检测半导体芯片缺陷，提高芯片的质量和良品率。