一种基于倾斜角谱的反射成像装置及方法

本申请公开了一种基于倾斜角谱的反射成像装置及方法，涉及衍射传播领域，该装置包括：激光器、样本夹持装置、激光处理装置、探针和图像采集装置，激光器和激光处理装置均设置在探针的一侧，样本夹持装置倾斜固定待测样品位于探针的另一侧，图像采集装置设置于待测样品表面的等高度处，且图像采集装置的靶面与激光的光轴垂直；通过样本夹持装置调整待测样品的位置，使待测样品表面与激光的光轴的夹角为预设角度，激光通过激光处理装置处理后通过探针照射到待测样品表面，并经待测样品表面反射进行衍射传播，图像采集装置用于采集衍射传播过程中形成的衍射图像。本申请可重建无法透光的待测样品表面的平面图。