一种高精度电子束偏转补偿方法

本发明提供一种高精度电子束偏转补偿方法，包括以下步骤：S1、实时监测电子束的偏转状态；S2、将获取的偏转状态作为输入值，计算补偿量；S3、将补偿量转化为控制信号，驱动补偿装置对电子束进行补偿；S4、对补偿后的电子束进行质量评估，以确保补偿效果。本发明通过算法和硬件设计，实现对电子束偏转的快速、精确补偿。