半导体器件及其制备方法、芯片、电子设备

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推荐专利
半导体器件及其制备方法、芯片、电子设备
申请号:CN202411738266
申请日期:2024-11-27
公开号:CN119630024A
公开日期:2025-03-14
类型:发明专利
摘要
本公开提供了一种半导体器件及其制备方法、芯片、电子设备,涉及半导体技术领域,旨在提高半导体器件的性能,并提升半导体器件的使用寿命,半导体器件包括衬底、势垒层、栅极、源极、漏极和至少两个第一极化增强部,势垒层设置于衬底的一侧,栅极设置于势垒层远离衬底的一侧,源极和漏极沿第一方向设置于栅极的相对两侧,第一方向平行于衬底,至少两个第一极化增强部设置于栅极和漏极之间,且设置于势垒层远离衬底的一侧,至少两个第一极化增强部沿第一方向间隔设置。上述半导体器件应用于芯片中。
技术关键词
半导体器件 势垒层 衬底 盖帽层 栅极 族化合物半导体 外延生长工艺 芯片 电子设备 尺寸 电路板 间距
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