摘要
本公开提供了一种半导体器件及其制备方法、芯片、电子设备,涉及半导体技术领域,旨在提高半导体器件的性能,并提升半导体器件的使用寿命,半导体器件包括衬底、势垒层、栅极、源极、漏极和至少两个第一极化增强部,势垒层设置于衬底的一侧,栅极设置于势垒层远离衬底的一侧,源极和漏极沿第一方向设置于栅极的相对两侧,第一方向平行于衬底,至少两个第一极化增强部设置于栅极和漏极之间,且设置于势垒层远离衬底的一侧,至少两个第一极化增强部沿第一方向间隔设置。上述半导体器件应用于芯片中。
技术关键词
半导体器件
势垒层
衬底
盖帽层
栅极
族化合物半导体
外延生长工艺
芯片
电子设备
尺寸
电路板
间距