一种高温超导器件测试杆组件及其制作方法

本发明提供一种高温超导测试杆组件，包括依次设置的顶盖、连接有真空阀、安全阀、航空接头的航空接头座、杆体、和芯片支架，芯片支架具有用于安装芯片的安装槽且芯片支架的外部套设有套筒，以使得安装槽相对于套筒的外部密封隔离；航空接头座是中空的并且通过杆体的内部空腔与安装槽连通，实现真空保持和航空接头与芯片的电气连接，芯片包括高温超导器件或低温超导器件。本发明还提供相应的制作方法。本发明的测试杆可进行抽真空操作，保证芯片工作在真空环境中，因高温超导薄膜对水、氧非常敏感，本测试杆可保证其真空工作环境，且同步兼顾液氮、液氦中工作的能力，可有效避免高温超导芯片在升降温及工作过程中受到冷凝水、空气氧的破坏。