一种基于二轴MEMS扫描振镜的共聚焦显微图像畸变校正方法

本发明公开了一种基于二轴MEMS扫描振镜的共聚焦显微图像畸变校正方法。该方法包括：使用二轴MEMS扫描振镜的共聚焦显微镜获取原始图像，计算获得振镜法向量，计算获得入射光单位向量，计算获得反射光单位向量，计算投射到被扫描端面的坐标，坐标与像素联系与图像校正。本发明方法不仅能够去除MEMS振镜引入的畸变，还可以在未知被扫描端面姿态情况下校正其引入的畸变，进而获得无畸变的共聚焦图像。