摘要
本发明属于太阳能电池金属电极技术领域,具体涉及一种太阳能电池金属电极微结构及制备方法,包括太阳能电池外延结构、金属电极以及ARC增透膜;所述太阳能电池的表面设置有三角形接触层,所述三角形接触层为三角形,所述金属电极覆盖在三角形接触层上方的表面,所述ARC增透膜为覆盖在太阳能电池以及金属电极上表面的膜;所述三角形接触层靠近太阳能电池的底角α大于45度;三角形接触层形状可设置为锐角三角形,且其中两个底角都大于45度,还可设置为等腰三角形,且底角均大于45度。本发明设计的微结构可以将全部的入射光投射到太阳能电池内部,且同时提供了相应的制备工艺。
技术关键词
接触层
金属电极
微结构
三角形
二氧化硅掩膜
增透膜
倒装太阳能电池
太阳能电池芯片
外延结构
光刻胶
硅片
刻蚀深度
电镀铜
非接触式
外延片