一种晶圆搬运机器人及晶圆存储器

本申请提供一种晶圆搬运机器人及晶圆存储器，涉及半导体技术领域。本申请创造性地将晶圆片的移动机构与晶圆盒的移动机构集成在一个机械臂中，构成了一种既能搬运晶圆片又能搬运晶圆盒的机器人，即本申请提供的晶圆搬运机器人能完成晶圆片的搬运以及晶圆盒的搬运。由此，在晶圆制备系统中只需设置本申请提供的晶圆搬运机器人即可替代独立设置的晶圆片搬运设备以及晶圆盒搬运设备，提高了晶圆制备系统中设备的集成度，降低了晶圆制备系统的空间占用。此外，晶圆片移动机构与晶圆盒移动机构在机器人上的朝向不同，可以通过连接件将当前作业任务对应的移动机构旋转至作业方向，以避免不同移动机构在作业时的互相干扰，保证工作稳定性。