一种关于晶圆盒内晶圆摆放状态的检测方法及装置

本发明提供了一种关于晶圆盒内晶圆摆放状态的检测方法及装置，应用于晶圆盒的检测，检测方法包括：获取晶圆的厚度标准值和角度标准值；使用激光器和相机对晶圆盒进行扫描，获取晶圆盒的三维形貌；根据三维形貌，使用厚度计算算法和角度计算算法，计算晶圆盒中各晶圆的厚度和角度；其中，厚度计算算法通过点云降采样法和点云聚类法处理三维形貌的数据；将晶圆盒中各晶圆的厚度和角度，与厚度标准值和角度标准值进行对比，确定晶圆盒中的晶圆是否存在重片、斜片和缺片。本发明解决了传统的Mapping操作需要通过测距传感器逐点扫描晶圆盒内部来确定晶圆位置，导致扫描时间较长，影响生产效率的技术问题。