摘要
本发明涉及安全管理技术领域,具体公开了一种基于人脸识别的安全管理系统,用于解决现有洁净室气流管理中,砷烷泄漏时空调气流安全管理和回排风利用的协同处理存在不足的问题,包括光刻生产模块、空气处理组、回风调整模块、砷烷检测传感器、人脸识别系统、排风机、新风机组、五条回排风通道、四条送风通道和一条空气排放回收通道,基于人脸识别技术监控各区域人员,并在砷烷泄漏时提供回排风调整方案和安全区域供气方案;本发明利用人脸识别技术管理不同洁净等级区域的人员权限,实时调节安全区域供气,发生砷烷泄漏时自动调整负压和排风,基于空气龄动态调整新回风混合比例,减少空调能耗。
技术关键词
调控单元
气体过滤单元
混合单元
新风机组
深度净化
空气过滤单元
通道
砷烷
管理系统
人脸识别系统
净化单元
检测传感器
人脸识别技术
分区
排风
风管
光刻
供气
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