摘要
本发明公开了一种面向光谱感知传感的可调谐激光光源,包括通过波导进行连接的可调谐DFB激光器阵列芯片、星形耦合器芯片、SOA阵列芯片和光纤阵列,每行可调谐激光器之间通过波导连接,相邻波长的激光器分布在不同的波导上,每根波导光输出端均设置SOA。本发明采用星形耦合器将可调谐激光器阵列不同波长光的能量平均分配至各光输出波导,分别进入不同的光纤光栅传感器或光纤MEMS传感器等中同时实现温度或应变的传感,同时实现多路复用树状传感与解调,降低传输过程中的能量损失;采用光子引线键合或对接生长技术将不同材料体系芯片间进行耦合,其中光子引线键合技术无需高精度的对准,加工效率高、实现芯片间低成本混合集成,器件整体紧凑。
技术关键词
DFB激光器
星形耦合器
芯片
波导
光纤阵列
可调谐激光器
光纤光栅传感器
可调谐激光光源
引线键合技术
MEMS传感器
波长
温度控制模块
AR镀膜
钨铜