一种半导体检测用CHUCK盘

本发明涉及半导体技术领域，且公开了一种半导体检测用CHUCK盘，包括环形槽下表面吸附有芯片硅晶圆，盘体上安装有用于对芯片硅晶圆进行清洗的喷剂组件，转动件上连接有清理组件，转动件被电机和齿轮进行驱动时，清理组件在盘体上做圆周运动，用于对芯片硅晶圆进行清理。本发明通过清理组件的设置，连接块下表面安装的第二滚筒毛刷随着连接块的转动，对芯片硅晶圆上表面进行持续的清理，当芯片硅晶圆被吸附时，此时第二滚筒毛刷处于芯片硅晶圆的上表面，从而减少芯片硅晶圆表面的污渍，提高检测结果的准确性。