一种高精度星敏感器图像探测器多自由度精密装调方法

一种高精度星敏感器图像探测器多自由度精密装调方法，应用非接触三坐标测量仪，对芯片装调过程中图像探测器位置和倾斜角度进行控制的同时，非接触测量的特点可保护芯片不受损伤；对于图像探测器的倾斜角度，先后在三坐标测量仪和调焦台上进行两次装调控制，达到整机的精度要求。利用侧面和顶面的8个顶丝，对探测器进行加固，保证装调精度的力学稳定性。本发明方法可以实现5自由度的装调，在提高装调精度的同时避免装配应力，并能很好保持装调后的精度稳定性。