晶圆表面质量检测方法和系统、设备、存储介质及计算机程序产品

一种晶圆表面质量检测方法和系统、设备、存储介质及计算机程序产品，方法包括：获取晶圆表面的中间区域的切割道的第一图像、以及边缘区域的切割道的第二图像；对比第一图像和第二图像中切割道的颜色差异；基于切割道的颜色差异，判断晶圆表面的表面质量水平。本发明有利于提高产品良率。