摘要
本公开实施例提供一种3D芯片封装方法及封装器件,该方法包括:将多个中间层芯片依次堆叠设置底层芯片,以在底层芯片沿其横向形成间隔分布的多个芯片堆叠模组;将顶层芯片堆叠于每个芯片堆叠模组的最上层中间层芯片;形成分别包裹底层芯片、多个芯片堆叠模组和多个顶层芯片的塑封层;自顶层芯片向底层芯片的方向,且沿相邻两个芯片堆叠模组之间的塑封层进行切割,形成第一切割道;自底层芯片向顶层芯片的方向切割底层芯片,形成与第一切割道相连的第二切割道。该方法通过双面切割的方式释放3D芯片应力,减少翘曲过大影响,做到无损伤3D芯片的封装,提高封装器件可靠性。
技术关键词
芯片堆叠
芯片封装方法
中间层
芯片封装器件
模组
载板
导电
凸点
无损伤
凹槽
标识
包裹
双面
应力
通孔