摘要
一种封装结构及其形成方法,方法包括:提供第一晶片,第一晶片包括第一导电凸块以及设置于第一导电凸块上的第一焊球,第一导电凸块与第一焊球电连接;形成覆盖第一晶片的导热层,导热层包覆第一导电凸块和第一焊球;在导热层中形成露出第一焊球的开口;提供第二晶片,第二晶片包括第二导电凸块;将第一晶片放置于第二晶片上相焊接,以将第一焊球与第二导电凸块相接合,形成堆叠晶片。通过形成覆盖第一晶片的导热层,在导热层中形成露出第一焊球的开口,能够提高封装结构的可靠性以及散热性能。
技术关键词
封装结构
导电凸块
堆叠晶片
通孔结构
布线
焊球
介电层
酚醛树脂
导热
沟槽
芯片
混合物
氮化硼
二氧化硅
环氧树脂
氧化铝
基板
焊接工艺
侧部