一种光能量均匀性检测方法、系统及曝光设备

本发明公开了一种光能量均匀性检测方法、系统及曝光设备，涉及光能检测技术领域，该系统包括：光线投射单元，用于改变激光器模组发出的激光光路，形成大小合适的光斑；光电能量传感器，用于接收光斑并进行能量检测；运动检测单元，用于带动光电能量传感器在曝光机平台的平面内运动；主控机，用于控制运动检测单元移动，使光电能量传感器的开窗中心与光斑中心重合；还用于对能量检测信息进行数据处理，确定该激光光路的能量均匀性是否达标。本系统可以得到运动检测单元所需移动的精准距离，避免了光路投射光斑没有完全落在光电能量传感器开窗内而造成能量损失的情况，使均匀性检测结果更精确。