一种机械手水平监测自调整系统

本发明涉及半导体设备技术领域，更具体地说，涉及一种机械手水平监测自调整系统。本发明提供的自调整系统，包括机械手承载晶圆装置，用于承载晶圆；电子水平监测装置，设置在机械手承载晶圆装置上，用于监测机械手承载晶圆装置的水平状态；水平调整传动板，用于传动并调整机械手承载晶圆装置的水平位置；水平自调整装置，基于电子水平监测装置的反馈数据，调整水平调整传动板的平衡状态，确保机械手承载晶圆装置处于水平状态。本发明通过水平自调整装置实现机械手自动水平调整，避免人工调整过程中的不准确问题，提高水平监测调整的准确性和效率，为机械手的稳定运行提供了有力的技术支持。