一种芯片检测系统和芯片检测方法

本发明涉及芯片检测技术领域，公开了一种芯片检测系统和芯片检测方法，包括；多模态数据采集模块，用于采集芯片的光学视觉数据、热性能数据和电性能数据；融合特征建模模块，用于对多模态数据进行预处理、特征提取和特征融合建模；智能检测模块，用于对融合特征进行缺陷检测与定位；异常分类标记模块，用于基于缺陷检测结果进行异常分类和标记；反馈优化动态调节模块。通过采用融合特征建模模块，利用深度学习网络对光学、热性能和电性能数据进行特征提取，通过跨模态注意力机制实现特征权重优化，多模态特征融合技术显著增强了系统对复杂缺陷模式的表达能力，提高了检测的精度和可靠性，特别是对微小裂纹、散热不良和信号不稳等问题的识别。