晶圆翻转装置及方法、晶圆加工设备

本公开提供一种晶圆翻转装置及方法、晶圆加工设备，该晶圆翻转装置包括:支撑单元；夹持单元，包括两个夹持组件，两个夹持组件沿第一方向彼此间隔地设置于支撑单元上；移动单元，连接至夹持单元，移动单元驱使两个夹持组件沿第一方向可相向或相背运动；翻转单元，与夹持单元连接，翻转单元可驱动夹持单元带动晶圆翻转；检测单元，用于检测夹持组件向晶圆所施加的实际夹持信息，实际夹持信息包括实际夹持信息、实际夹持位置中至少一项；控制单元，用于根据实际夹持信息与预设的目标夹持信息，控制移动单元使两个夹持组件相向或相背运动。本公开的晶圆翻转装置及方法、晶圆加工设备可减少晶圆碎裂现象。