一种解耦接触共振原子力显微镜形貌与共振频率的方法

本发明涉及一种解耦接触共振原子力显微镜形貌与共振频率的方法，包括步骤S1，准备显微镜、探针、锁相放大器、待测样品、蓝宝石片和PC上位机；步骤S2，探针参数标定；步骤S3，搭建共振频率测量设备；步骤S4，固定样品；步骤S5，共振频率检测，再采集待测样品表面的形貌和共振频率的测试结果并输送至PC上位机；步骤S6，数据处理，计算形貌结果对应的倾斜角度；绘制共振频率与倾斜角度的对应关系，随后采用探针‑样品接触模型求解侧向刚度与法向刚度之比；随后将代入探针‑样品接触模型，将测试结果的每个像素点还原为压痕模量，完成形貌耦合的解耦。