一种涂层残余应力的太赫兹检测方法

本发明公开了一种涂层残余应力的太赫兹检测方法，包括步骤S1：通过太赫兹波探测器将太赫兹波投射到待测涂层的表面并收集第一批光谱；步骤S2：对涂层施加应力；步骤S3：通过太赫兹波探测器将太赫兹波投射到待测涂层的表面并收集第二批光谱；步骤S4：绘制频谱图；步骤S5：识别共振峰；步骤S6：峰值分析；步骤S7：比较和参考；步骤S8：峰值分配；步骤S9：应力计算。本发明公开的一种涂层残余应力的太赫兹检测方法，克服现有技术中残余应力检测主要还是依赖于有损方法，检测精度不够的问题。