一种光学浮动单元式MEMS传感器

本发明一种光学浮动单元式MEMS传感器，属于MEMS传感器领域；包括MEMS芯片模块及与其对接的光纤模块，两者通过封装模块进行合体固定连接；所述MEMS芯片模块的对接面上开有定位孔，定位孔作为MEMS芯片模块的信号输入口，其中心轴垂直于MEMS芯片模块内反射光栅，且定位孔能够覆盖反射光栅对应区域；将光纤模块同轴插装于定位孔内，通过定位孔保证了光纤模块内光纤与反射光栅的垂直对准，使得光纤发出的光信号垂直入射至反射光栅。本发明提高了传感器的灵敏度，解决了现有技术不能一次性精准装配到位的问题。