电子级硅基物料金属杂质在线分析系统及方法

本公开提供一种电子级硅基物料金属杂质在线分析系统及方法，属于杂质分析领域。该电子级硅基物料金属杂质在线分析系统包括：取样模块，用于对目标硅基物料采集，得到硅基样品；样品处理模块，用于处理硅基样品，得到第一硅基样品；样品分析模块，用于分析第一硅基样品，得到分析结果；反馈控制模块，用于将分析结果发送至终端模块；样品处理模块分别与取样模块和样品分析模块连接；样品分析模块与反馈控制模块连接。本公开能够提升硅基物料金属杂质在线分析的检测速度和可靠性。