摘要
本申请涉及一种一体式自动化塑封共晶机,涉及半导体封装设备的技术领域,共晶机包括安装平台;共晶台,用于将芯片和基板加热键合,共晶台设置在安装平台上;芯片上料装置,用于朝共晶台输送芯片,芯片上料装置设置在安装平台上;基板上料装置,用于朝共晶台输送基板,基板上料装置设置在安装平台上;成品下料装置,成品下料装置包括吸取机械手和机械手驱动机构,机械手驱动机构设置在安装平台上,吸取机械手设置在机械手驱动机构上,吸取机械手用于吸取共晶台上的成品,机械手驱动机构用于驱动吸取机械手靠近或远离共晶台运动。本申请能够加快共晶机的封装速度,提高整体封装效率。
技术关键词
一体式自动化
机械手驱动机构
共晶机
成品下料装置
基板上料装置
芯片上料装置
安装平台
加热台
加热腔室
透明板
料盘
供气
氮气
半导体封装设备
加热模块
风孔
真空