一种一体式自动化塑封共晶机

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推荐专利
一种一体式自动化塑封共晶机
申请号:CN202411850625
申请日期:2024-12-16
公开号:CN119560416A
公开日期:2025-03-04
类型:发明专利
摘要
本申请涉及一种一体式自动化塑封共晶机,涉及半导体封装设备的技术领域,共晶机包括安装平台;共晶台,用于将芯片和基板加热键合,共晶台设置在安装平台上;芯片上料装置,用于朝共晶台输送芯片,芯片上料装置设置在安装平台上;基板上料装置,用于朝共晶台输送基板,基板上料装置设置在安装平台上;成品下料装置,成品下料装置包括吸取机械手和机械手驱动机构,机械手驱动机构设置在安装平台上,吸取机械手设置在机械手驱动机构上,吸取机械手用于吸取共晶台上的成品,机械手驱动机构用于驱动吸取机械手靠近或远离共晶台运动。本申请能够加快共晶机的封装速度,提高整体封装效率。
技术关键词
一体式自动化 机械手驱动机构 共晶机 成品下料装置 基板上料装置 芯片上料装置 安装平台 加热台 加热腔室 透明板 料盘 供气 氮气 半导体封装设备 加热模块 风孔 真空
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