摘要
本发明提供一种石英晶片的测试装置及方法,涉及晶片测试技术领域,包括:测试平台,测试平台上设有用于放置待测试石英晶片的定位座,测试平台用于在水平面上调整定位座的位置;图像识别装置,设于测试平台的上方,用于对待测试石英晶片进行图像识别定位;一对测试臂,两个测试臂分别设于测试平台的两侧,测试臂的前端设有用于测试石英晶片的探针,测试臂用于根据图像识别装置的识别结果调节探针的位置。有益效果是提高了测试的自动化程度,进一步减少了测试所需的时间,确保每次测试时探针都能以统一且准确的位置接触晶片,减少了测试误差,降低了测试成本,还提高了测试效率,使得测试装置能够轻松应对多种规格晶片的测试任务。
技术关键词
石英晶片
测试平台
图像识别装置
调节件
晶片测试技术
探针
负压装置
定位座
测试误差
千分尺
测试方法
角位
平板
滑块
频率
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