一种用于碳化硅外延炉的连续生长方法

本发明公开了一种用于碳化硅外延炉的连续生长方法，该方法通过设置有晶片传递机构的传输腔室设计替代人工放片，可一次性导入多片晶片并连续生长提高了生产效率，晶片放置及传递全机械化减少了人工的干扰，提升产品良率并降低生产成本；同时，本发明设置了与传输腔室连通的衬底片暂存箱和外延片暂存箱，暂存箱可存放衬底或外延片，并在各腔室之间设置闸板阀，在暂存箱打开时闸板阀升起以隔离外界与传输腔室的接触，保障腔室的洁净度；在暂存箱关闭后，闸板阀落下以实现腔室的连通。