晶圆缺陷检测方法、装置、设备、介质及产品

本公开实施例公开了一种晶圆缺陷检测方法、装置、设备、介质及产品，包括：获取待检测晶圆图像；所述待检测晶圆图像中包括纹理和缺陷；根据预设纹理识别算法对所述待检测晶圆图像的纹理进行识别，得到纹理识别结果；根据所述纹理识别结果确定所述缺陷的检测结果。本技术方案通过根据预设纹理识别算法对待检测晶圆图像的纹理进行识别，进而确定晶圆缺陷检测结果，消除纹理对晶圆缺陷识别的影响，提高了晶圆表面晶圆缺陷检测的准确性和识别效率，提升产品的良率。