摘要
本发明属于微纳光学技术领域,具体涉及一种片上超表面可同时对多个波导模式进行调控的调控器件。本发明通过一组超构原子阵列同时将多个波导内部传输的导波模式信号耦合至在自由空间中并进行聚焦调控。与传统的光子集成器件将超构原子集成在波导上表面来处理光信号不同,本发明调控器件并非将超构阵列集成在波导上,而是通过制备一个集成超表面衬底,当多个传输不同导波模式信号的波导通过衬底上的超构原子时,同时可以实现对多个波导内传输的光信号的进行调制,赋予了光子集成电路较高的调制灵活性。本发明调控器件同时在多路复用、全息成像、增强现实与虚拟现实技术领域具有一定的应用前景。
技术关键词
波导
二氧化硅衬底
氮化硅
光纤
长方体
模式
光子集成器件
微纳光学技术
集成超表面
光子集成电路
虚拟现实技术
全息成像
阵列
横截面尺寸
波长
多路复用
光信号