摘要
本发明公开了一种相位可调的消零干涉系统,涉及光电测量领域,包括第一望远镜和第二望远镜、第一准直透镜、第二准直透镜、相位调节装置、多个平面镜、分光镜、凸透镜、探测器以及控制装置。入射光分别通过第一和第二望远镜,经第一和第二准直透镜转化为平行光束。其中一路光束经相位调节装置进行相位调整,随后两路光束经多个平面镜继续传输。在分光镜处,两束光发生相干叠加,产生干涉图案。该图案经凸透镜聚焦于探测器平面,形成可供分析的干涉成像。探测器接收图像并传输至控制装置,控制装置处理并分析图像并控制相位调节装置以调节两路光线的相位差,实现干涉条纹的移动。
技术关键词
相位调节装置
干涉系统
相位可调
望远镜
准直透镜
干涉条纹
探测器
光强
分光镜
平面镜
凸透镜
高斯分布模型
图案
图像
光束
对比度
数据
光程
包络