一种表面缺陷压痕标记与快速压痕响应测试装置及方法

本发明公开了一种表面缺陷压痕标记与快速压痕响应测试装置及方法，涉及精密仪器与工业自动化检测技术领域，表面缺陷压痕标记与快速压痕响应测试装置包括支撑单元、宏观移动单元、快速切换单元和精密测试单元，所述宏观移动单元设置在所述支撑单元上，所述快速切换单元与所述宏观移动单位连接，所述精密测试单元设置在所述宏观移动单元上，所述精密测试单元包括扫描结构和压痕标记结构，所述宏观移动单元能够带动所述精密测试单元进行移动，所述快速切换单元用于切换所述扫描结构和所述压痕标记结构的位置。本发明的表面缺陷压痕标记与快速压痕响应测试装置及方法能够快速切换扫描结构和压痕标记结构的位置。