一种用于光刻机的极紫外电机系统

本发明提供一种用于光刻机的极紫外电机系统，包括定子组件、转子组件、驱动机构和控制系统，其中：所述驱动机构采用PID控制算法，依次通过位置环控制、速度环控制和电流环控制确定电机的输入信号，以确保电机的精确运动；所述反馈调整系统能够实时监测电机的运行状态，并根据需要进行调整和优化。本发明通过PID控制算法，实现了亚纳米级的运动精度；定子组件的材料选择，降低了磁场波动和热量产生，提高了电机的稳定性；反馈调整系统具备自适应调节功能，能够根据不同的加工需求和环境变化进行动态调整和优化。