束流均匀性调节方法、装置、存储介质及电子设备

本发明提供一种束流均匀性调节方法、装置、存储介质及电子设备，该方法包括：获取历史调节数据；从历史调节数据中确定出当前训练状态向量，并调用应用调节模型，确定当前训练状态向量对应的器件调节向量；基于器件调节向量，确定应用调节模型的调节模型损失值；并按照减小调节模型损失值的方向，更新应用调节模型中的模型参数；迭代执行从历史调节数据中确定出当前训练状态向量，直至满足目标模型训练条件，以完成通过历史调节数据对应用调节模型的模型训练，应用调节模型支持用于指导对目标离子注入机的束流均匀性调节。本发明实施例可提高束流均匀性调节的准确性，以提高束流均匀性的调节效率。